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國立清華大學工程與系統科學系
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光電工程
實驗室_光電工程
高密度電漿源模擬與研製,電漿量測技術,電漿蝕刻、鍍膜、濺鍍製程研發,電漿製程回授控制,電漿製程熱流研究,電漿平面顯示器,奈米碳管場發射顯示器,電漿在材料處理及環工應用,電漿輔助化學氣相沈積成長碳微管。